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• 반사막 공진기, 反射膜共振器, Solid Mounted Resonator, SMR

  압전 공진기의 하부에 다층의 음향 반사막을 만들어 압전막의 벌크 탄성파(BAW:Bulk Acoustic Wave)를 반사시키는 공진기 구조. 실리콘 기판측의 가공없이 박막 형성 프로세스만으로 생산이 가능하며, 다른 반도체 회로와의 모노리식화가 용이한 장점이 있으나 공진기의 성능이 낮고, 반사용 다층 박막...